El proceso de ionización se puede representar mediante la siguiente ecuación:
Cu(g) + e- ---> Cu+(g) + 2e-
En esta ecuación, Cu(g) representa un átomo de cobre neutro, e- representa el haz de electrones, Cu+(g) representa un ion de cobre cargado positivamente y 2e- representa los dos electrones que se emiten desde el átomo de cobre tras la ionización.
El proceso de ionización de electrones normalmente se lleva a cabo en una cámara de vacío para evitar que los iones choquen con las moléculas de aire y pierdan su carga. A continuación, los iones positivos producidos se aceleran mediante un campo eléctrico y se separan según su relación masa-carga en el analizador de masas.
