La molécula de SiF4 tiene forma tetraédrica. Esto se debe a que el átomo de silicio tiene cuatro electrones de valencia y cada uno de estos electrones se comparte con un átomo de flúor. Los cuatro átomos de flúor están dispuestos alrededor del átomo de silicio en forma tetraédrica, y cada átomo de flúor ocupa una de las cuatro esquinas de un tetraedro.