El primer microscopio electrónico fue construido por ernst Ruska y max knoll en 1931 en la Universidad Técnica de Berlín .

Si bien ambos científicos contribuyeron significativamente, ernst Ruska generalmente se acredita como el inventor principal. Recibió el Premio Nobel de Física en 1986 por su trabajo en Electron Optics y por su diseño del primer microscopio electrónico.