(Phys.org) —El marco teórico y experimental de un nuevo enfoque de imágenes de deformación por difracción coherente se desarrolló en el Grupo de Microscopía de Rayos X del Centro de Materiales a Nanoescala en colaboración con la División de Ciencia de Materiales de Argonne, junto con los usuarios de IBM. La pticografía de proyección de Bragg de rayos X nanofocalizados crea una herramienta para obtener imágenes de campos de deformación de manera eficiente con condiciones de límite inalteradas en sistemas de energía tecnológica y científicamente relevantes.

Esta nueva técnica es capaz de obtener imágenes de distorsiones de celosía en películas delgadas de forma no destructiva a resoluciones espaciales de <20 nm utilizando rayos X duros nanoenfocados coherentes. Este trabajo marca un importante paso adelante en el desarrollo de técnicas de imágenes de difracción de rayos X coherentes no destructivas para el estudio de las características de la red a nanoescala en materiales reales en condiciones reales. Este estudio, en el que las sutilezas estructurales se resolvieron en un prototipo de dispositivo que surge tanto de los efectos de tamaño intrínsecos como de las condiciones de contorno extrínsecas, allana el camino para estudios no destructivos de la estructura en materiales a escalas de longitud nanométrica donde la predicción, medición, y el control de la tensión es difícil.

Los datos obtenidos del sistema representado se utilizaron para determinar el perfil de deformación reticular en una capa de estrés SiGe epitaxial de un dispositivo prototipo de silicio. La medición de la deformación de los desajustes de la red epitaxial y el procesamiento del dispositivo pueden probar las predicciones de modelado elástico continuo de las distribuciones de deformación a nanoescala.