(a) Esquema de un sistema de pulido por láser. (b) Evolución de la morfología de la superficie durante el proceso combinado. Crédito:SIOM
Daño por láser en sílice fundida, particularmente daño por láser ultravioleta, sigue siendo un problema clave que limita el desarrollo de sistemas láser de alta potencia. El método de procesamiento tradicional de la sílice fundida pasa por los procesos de pulido y pulido químico mecánico (CMP). Este método requiere mucho tiempo para lograr una superficie ultra suave, y es fácil de causar defectos superficiales y subsuperficiales, resultando en una reducción significativa en el umbral de daño superficial de la sílice fundida.
Recientemente, un equipo de investigación del Instituto de Óptica y Mecánica Fina de Shanghai de la Academia de Ciencias de China combinó el grabado químico y el CO 2 Pulido con láser para procesar la sílice fundida triturada. Se utilizó grabado químico para abrir los defectos subsuperficiales de la sílice fundida triturada. Después, CO 2 Se aplicó pulido con láser para reducir la rugosidad de la superficie.
Este proceso combinado no solo puede obtener de manera eficiente una superficie súper lisa con una rugosidad superficial baja, pero también puede mejorar la resistencia al daño de la sílice fundida. Este trabajo fue publicado en el Letras de óptica .
A través de la morfología del daño y un análisis de defectos, Se demostró que el proceso combinado evita la introducción de defectos superficiales y subterráneos. incluyendo defectos destructivos, defectos de la estructura química, e impurezas mentales fotoactivas, y obtener sílice fundida con menor densidad de defectos superficiales, obteniendo así una mejor resistencia al daño.