Los ingenieros de CNST NanoFab han desarrollado una nueva técnica de grabado por plasma para silicio que mejora la velocidad de grabado, la selectividad de la máscara, y el perfil de la pared lateral optimizando la adición de argón al flujo del proceso. Las estructuras de silicio de relación de aspecto pequeña y alta ahora se pueden fabricar fácil y más rápidamente en el NanoFab utilizando química de plasma fluorado que es inherentemente isotrópico.

La adición directa de argón a un plasma SF6 / C4F8 típico provoca principalmente dilución y reduce la velocidad de grabado. Alternando el paso de grabado con un paso de solo argón, Se obtuvieron tanto una alta selectividad como altas tasas de grabado mientras se mantenía el grabado anisotrópico.

En un profundo grabado de silicona, C4F8 se usa para proteger las paredes laterales de Si y SF6 se usa para grabar. La mezcla de argón con los gases de ataque proporciona una mejora muy limitada o nula en la velocidad de ataque debido a la dilución.

Sin embargo, La alternancia de las etapas de bombardeo de la superficie de argón con las etapas de grabado químico da como resultado un aumento de cuatro veces en la velocidad de grabado de silicio mientras se mantienen las paredes laterales verticales.

La tasa de grabado de silicio aumenta con el tiempo del paso de argón, independiente del tiempo de paso del SF6, y la etapa de bombardeo de argón es determinante de la velocidad. Influye en la tasa de grabado, así como la selectividad y el perfil de grabado.

Los ingenieros postulan que el bombardeo de la superficie del argón hace que las capas atómicas superiores del silicio sean amorfas, y luego el flúor en fase gaseosa puede reaccionar y eliminar el silicio. Con los largos tiempos de grabado asociados con el grabado profundo de zanjas de silicio, Es probable que este proceso más rápido se utilice ampliamente.